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求书:压力传感器的设计制造与应用

来源: http://www.shbankcard.com 发布于:2023-11-22 20:39:53

         我来答;求书:压力传感器的设计制造与应用     精密钢管压力传感器 是一种广泛应用于各种工业领域的传感器滑基,常用于测量气体或液体在管路、容器等设备内部的压力。本文将介绍如何制造一款常见的压力传感器,包括其主要构成部分、材料选择、生产工艺和检验流程。

一、主要构成部分通常情况下,一款压力传感器由下列几个主要部分构成:敏感元件:它是整个传感器的核心部分,负责转换压力信号为电信号。目前市面上主要有四种类型的敏感元件:弹性体、电容式、压阻式和压力片式。不同类型的敏感元件适用于不同的压力范围和精度要求。支撑结构:敏感元件需要被牢固地支撑在传感器的机壳内,以保证其灵敏度和稳定性。支撑结构通常由金属或陶瓷等材料制成。机壳:机壳是传感器的外壳,起到保护敏感元件和支撑结构的作用。机壳一般用不锈钢等耐腐蚀、耐高温的材料制成。 连接头:连接头负责将传感器和测量系统相连,并通过导线将信号输出到仪表端。连接头需要具备电绝缘性和耐高温性能。

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二、材料选择不同的应用场景和精度要求需要信物谨选用不同的材料。下面列举几种常见材料的适用范围: 弹性体敏感元件:主要适用于低压力、低精度的场合,如气象观测等。材料通常为橡胶、硅胶、氯丁橡胶等。 电容式敏感元件:适用于中低压力、较高精度的场合,如航空、军工等领域。材料通常为陶瓷或金属薄膜。 压阻式敏感元件:适用于高压力、中低精度的场合,如压缩机、液压系统等。材料通常为钢、硅片等。 压力片式敏感元件:适用于高压力、较高精度的场合,如油田、化工等领域。材料通常为钛合金或不锈钢。

三、生产工艺制造一款精确的 设计制造与应用 精密钢管压力传感器  需要经过严格的生产工艺。下面是一个基本的生产流程:制备敏感元件:根据压力范围和精度要求选择合适的材料,制备成不同形状的敏感元件。这一步需要注意环境的洁净度和通风情况,以避免杂质污染。装配支撑结构:将敏感元件粘贴或焊接在支撑结构上,并加入补偿膜片、密封垫片等辅助材料。此时,需要使用显微镜等精细仪器对支撑结构进行质量检查。 封装机壳:将支撑结构和敏感元件装入机壳内,并安装好连接头和电缆。 校准和测试:使用标准气源或液体压力表等设备对传感器进行校准,并检验其灵敏度、精确度、稳定性等参数是否符合规定。

四、检验流程一款优质的压力传感器必须经过多道质量检验程序才能被使用。以下是一些常见的检验流程: 防尘检验:将传感器放入清洁的密闭环境中,观察是否会存在灰尘、细菌等污染。 低温和高温试验:将传感器置于极低或极高温度下,在一定时间内检测其性能变化情况。 冲击试验:对传感器进行机械冲击、震动或振动试验,以检测其稳定性。 导泄电阻检测:使用电阻测试仪器将传感器与地线相连,检测导泄电阻是否符合规定。 精度校准:使用标准压力表或其他测量设备,对传感器进行多次校准,并检验其输出信号是否稳定、准确。总结 以上是一些制造常见 

             我来答;精密钢管压力传感器 的基本要点。当然,一个更加完备的生产流程还需要包括质量跟踪、记录管理等更多环节。只有通过不断严格的质量控制和技术创新,才能够生产出更加优秀的传感器产品,为工业自动化提供更好的支持。

压力传感器的设计制造与应用

作者:孙以材

出版:北京 冶金工业出版社 2000 年出版

尺寸:20cm

ISBN:7-5024-2400-8

形态:615 页 - 107 章节

定价:CNY40.00

附注:河北省教育委员会学术著作出版基金资助

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摘要

本书主要介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计;介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线;介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术等。

目录

目录

第一章晶体及其能带结构

第一节空间点阵和晶体结构

附录

第二节晶体的能带结构

第三节晶体的物理常数及其坐标变换

参考文献

第二章压力传感器的基本原理

第一节单晶硅的压阻效应

第二节扩散硅的压阻效应

第三节多晶硅的压阻效应

附录任意晶向压阻系数的计算

参考文献

第三章压力传感器中承压弹性膜的应力计算

第一节弹蔽虚虚性力学基础

第二节承压弹性薄膜的应力分析

第三节压力传感器弹性膜二维有限元法的应力计算

第四节压力传感器三维有限元法应力计算简介

参考文献

第四章压力传感器芯片版图设计

第一节合理利用压阻系数

第二节力敏电阻条的设计

第三节二极管与三极管的设计

第四节失效与可靠性问题

参考文献

第五章压力传感器的衬底制备

第一节硅单晶片抛光的基本原理

第二节衬底片的清洗

第三节外延工艺原理

第四节硅——硅宏燃键合工艺原理

参考文献

第六章压力传感器的管芯制备

第一节氧化膜的制备

第二节扩散工艺原理

第三节光刻工艺原理

参考文献

第七章硅压力传感器的微机械加工

第一节概况

第二节湿化学腐蚀

第三节各向异性腐蚀过程计算机模拟

第四节压力传感器的压力腔腐蚀工艺

第五节表面微机械加工——牺牲层技术

第六节玻璃穿孔技术

参考文献

第八章压力传感器的封装

第一节压力传感器的封装意义及要求

第二节压力传感器芯片的封接方法

第三节硅片与硅片低温直接键合

第四节封接材料的性质

参考文献

第九章压力传感器的引线

第一节压力传感器的引线键合

第二节载带自动键合(TAB)技术

第三节引线的可键合性与可靠性

第四节引线间接触电阻的测量

参考文献

第十章压力传感器的技术性能与选用

第一节压力传感器的技术性能

第二节压力传感器的选用

参考文献

第十一章压力传感器的热漂移及其补偿技术

第一节热零点漂移及其补偿技术

第二节热灵敏度漂移及其补偿技术

第三节用自平衡电桥简单电路消除热零点和灵敏度漂移誉蔽

参考文献

第十二章压力传感器的信号调理

第一节集成运算放大器简介

第二节仪表放大器简介

第三节压力传感器激励

参考文献

第十三章压力传感器的智能化技术

第一节MCS-51单片机系统概述

第二节MCS-51单片机的指令系统

第三节MCS-51单片机内部存储器

第四节MCS-51单片机内部的定时器/计数器

第五节MCS-51单片机内部的并行输入/输出(I/O)口

第六节MCS-51单片机内部的串行口

第七节MCS-51单片机的中断控制系统

第八节智能化压力传感器的硬件设计

第九节智能化压力传感器的软件设计

参考文献

第十四章其他种类压力传感器

第一节膜片式电容型压力传感器

第二节压电型压力传感器

第三节金属电阻应变式压力传感器

第四节干涉光非接触式读出压力传感器

第五节光纤压力传感器

参考文献

第十五章压力传感器的应用

第一节压力传感器的应用分类

第二节LED显示排压力计

第三节电池供电精密气压计

第四节压力控制器

第五节自动洗衣机中应用的压力传感器

第六节自动补偿静压的压力传感器

第七节压力传感器在液位测量中的应用

参考文献

一、主要物理常数

二、单位换算表

1.长度单位换算

2.质量单位换算

3.力单位换算

4.功及能量单位换算

5.功率单位换算

6.压力单位换算

7.电磁单位换算

三、重要半导体的物理性质

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